FB系列直線臺由Nanomotion的壓電電機(jī)驅(qū)動，通過光學(xué)編碼器提供閉環(huán)伺服運(yùn)動。標(biāo)準(zhǔn)平臺為半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)和儀器市場的廣泛應(yīng)用提供單軸和多軸運(yùn)動性能。所有平臺都有標(biāo)準(zhǔn)和真空配置，有各種尺寸，可滿足所需的行程和性能標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
大氣和真空精密標(biāo)準(zhǔn)臺
行程20mm至200mm的線性平臺
用于連續(xù)運(yùn)動的旋轉(zhuǎn)臺
行程10mm的Z‐楔形平臺
Nanomotion的壓電電機(jī)，零背隙，無滯后
用于圍繞共同樞軸傾斜驅(qū)動/傾斜的測角儀平臺
