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真空電機(jī)新標(biāo)桿 |
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第二代真空無(wú)鐵芯直線電機(jī)系列的設(shè)計(jì)基于與高端半導(dǎo)體制造商的多年合作經(jīng)驗(yàn),考慮到了真空應(yīng)用的獨(dú)特挑戰(zhàn)。該產(chǎn)品系列適用于最嚴(yán)格的真空要求,具有較大的推力范圍。
最佳的熱性能、更高的安全性、出色的 RGA 性能、更低的放氣和安裝靈活性使第二代真空電機(jī)系列成為真空應(yīng)用中運(yùn)動(dòng)的標(biāo)桿。第二代真空電機(jī)系列提供多種繞組類型和線圈單元尺寸,總能給客戶提供最適合的直驅(qū)電機(jī)。
直驅(qū)電機(jī)可無(wú)縫集成到各種應(yīng)用中,如半導(dǎo)體、機(jī)床、機(jī)器人、顯示應(yīng)用和印刷行業(yè)。 |
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