Brooks自動(dòng)化股份有限公司案例——
Brooks自動(dòng)化和Galil團(tuán)隊(duì)成功提高了晶圓產(chǎn)量
在競(jìng)爭(zhēng)激烈且要求嚴(yán)格的硅晶圓生產(chǎn)領(lǐng)域，產(chǎn)量、精度和可靠性至關(guān)重要。
日益提高的性能規(guī)格、縮短上市時(shí)間和降低成本等相互沖突的要求在不斷擠壓半導(dǎo)體設(shè)備制造商的生存空間。因此，大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備制造商在設(shè)計(jì)他們的系統(tǒng)時(shí)都指定使用Brooks自動(dòng)化股份有限公司制造的機(jī)器人。這也正是Brooks選擇了Galil運(yùn)動(dòng)控制器的原因，現(xiàn)已將其應(yīng)用于所交付的10,000多臺(tái)機(jī)器人。
通過(guò)整合Galil運(yùn)動(dòng)控制器和Brooks專(zhuān)有的時(shí)間優(yōu)化軌跡軟件的功能，Brooks成功將產(chǎn)量提高了33%以上。該公司的時(shí)間優(yōu)化軌跡軟件可以將Galil的S型加速度曲線(xiàn)與部分重疊的運(yùn)動(dòng)曲線(xiàn)相結(jié)合。如果沒(méi)有這種加速度曲線(xiàn)，要實(shí)現(xiàn)相同的產(chǎn)量，就需要設(shè)置更高的速度和加速度，這將會(huì)導(dǎo)致磨損加劇和壽命縮短，并最終降低可靠性。
隨著一些晶圓在其最終制造階段的價(jià)值接近數(shù)十萬(wàn)美元，半導(dǎo)體行業(yè)必須需要最可靠、最高精度的制造設(shè)備。而這正是Brooks所提供的。為了滿(mǎn)足這些嚴(yán)格的要求，Brooks依靠Galil成熟的架構(gòu)和運(yùn)動(dòng)控制算法，在晶圓生產(chǎn)過(guò)程中始終可靠地保持精確控制。
憑借在設(shè)計(jì)、制造、尤其是質(zhì)量組件方面對(duì)卓越的不懈追求，Brooks已發(fā)展成為半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域頗具影響力的領(lǐng)導(dǎo)者，成為了美國(guó)最大的晶圓加工機(jī)器人制造商。
Brooks于2002年5月完成了對(duì)PRI自動(dòng)化的收購(gòu)。Brooks致力于為全球半導(dǎo)體行業(yè)提供自動(dòng)化解決方案。該公司所提供的硬件、工廠/工具管理軟件和專(zhuān)業(yè)服務(wù)，能夠管理晶圓廠中的每個(gè)晶圓、刻線(xiàn)以及數(shù)據(jù)傳輸，幫助半導(dǎo)體制造商提高產(chǎn)量、增加利潤(rùn)、降低成本，同時(shí)還能縮短產(chǎn)品的上市時(shí)間。Brooks的產(chǎn)品和功能幾乎遍布全球每個(gè)晶圓廠。
Brooks已在其交付的10,000多臺(tái)晶圓加工機(jī)器人上使用了Galil運(yùn)動(dòng)控制器
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加利福尼亞州山景城
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